傳輸腔
傳輸腔室半導體設備中的核心工藝零部件，對密封性、?潔凈度及耐腐蝕能力有較高要求
咨詢專家
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產(chǎn)品特點
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產(chǎn)品參數(shù)
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質量管理
產(chǎn)品特點
高精密、復雜關鍵工位
零件有多處處關鍵工位和關鍵尺寸，對晶圓的傳輸和密封有關鍵作用
高密封性
傳輸腔用途主要是用于將晶圓從第一腔室轉移至第二腔室，密封性是確保晶圓質量的關鍵因素
高潔凈度
高潔凈的設備零部件是晶圓工藝制程得到良品率的基礎。制程設備的潔凈度直接決定了在制晶圓及后續(xù)芯片的良品率，甚至決定了整條生產(chǎn)線是否有合格品產(chǎn)出
產(chǎn)品參數(shù)
| 材料 | 鋁合金 |
| 外形尺寸 | 3200*1500*220mm |
質量管理
富創(chuàng)質量管理秉承"好的質量是設計、制造出來的"為原則,關注客戶端到端的質量服務,從研發(fā)、設計、過程全生命周期質量管理關注各環(huán)節(jié)中入口質量、過程質量、出口質量,以保證整體質量可控,最終構建成以以預防為主的質量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
